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刊名
ISSN
《IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing》
语言：外文
ISSN：0894-6507
核心刊：;SCIE(科学引文索引)(美)(2020);
收录情况：SCIE(科学引文索引)(美)(2020)
周期：季刊
学科分类：
物理学
工学
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冶金
电子
通信
本刊信息
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