- 《Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures》
- 语言：外文
- ISSN：1071-1023
- 核心刊：;Ei Compendex(2018);SCIE(科学引文索引)(美)(2020);
- 收录情况：Ei Compendex(2018);SCIE(科学引文索引)(美)(2018);SCIE(科学引文索引)(美)(2018);SCIE(科学引文索引)(美)(2
- 周期：双月刊
- 影响因子：2018:1.351;2017:1.314;
- 学科分类：物理学 冶金 电子 通信
