- 《Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS》
- 语言：外文
- ISSN：1932-5150
- 核心刊：;Ei Compendex(2018);SCIE(科学引文索引)(美)(2020);
- 收录情况：Ei Compendex(2018);SCIE(科学引文索引)(美)(2018);SCIE(科学引文索引)(美)(2018);SCIE(科学引文索引)(美)(2
- 周期：季刊
- 影响因子：2018:1.193;2017:1.299;
- 学科分类：物理学 工学 冶金 电子 通信
